AMSEMI晶圆自动传送烤箱HCM-100 拉斯维加斯手机版登入 - 拉斯维加斯手机版登入_拉斯维加斯平台_拉斯维加斯在线线路检测

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  • AMSEMI HCM-100高温100级单炉腔无尘无氧烘箱
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      晶圆自动传送烤箱HCM-100特点简介: 


      在常规环境下使用,能够确保烘箱内部净化等级达到Class 100

      采用全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS310#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘

      内胆采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

      并经碱性苏打水清洁,去油污,避免烘烤时产生粉尘颗粒

      采用无氧设计,确保腔体内部在工作时可达到20PPM以下氧浓度环境


      晶圆自动传送烤箱HCM-100箱体结构


      烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热器及风道系统组成,结构合理,外型美观大方

      全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS310#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘

      内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

      并经碱性苏打水清洁去油污,避免烘烤时产生微尘

      中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

      并经碱性苏打水清洁去油污,及氩弧焊密加工(防污染)

      电热器:采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER),无尘化电热发生器

      保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K 级高密度高保温板制造

      洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料

      采用冷凝管外壁水冷降温(门封条水冷降温)

      腔体内采用风冷降温,与夹层快速降温



      晶圆自动传送烤箱HCM-100规格 


      无尘等级

      Class 100

      含氧量

      <=20ppm

      温度范围

      +60~ +400℃

      温度均匀度

      ±2.5℃ at +200℃;±3.5℃ at +350℃;(空载)

      升温速度

      常温~+400℃,升温速率 > 6℃/min

      温控精度

      ±1℃ (空载)

      层板

      共2片;烘箱搁板为活动式,搁板承重≥30kg

      工作尺寸

      W966 mm×H715 mm×D588 mm x 1 chamber

      外形尺寸

      W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm

      加热功率

      18KW

      环境条件

      温度 5~40°C;湿度≤85%R.H

      电源

      AC380V, 三相, 50Hz

      冷却水

      Max 8L/min.

      气压

      86~106Kpa

      使用条件

      无强烈振动,无强磁场影响,无腐蚀性气体

      箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用


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